08 Estación Maseveon + Unidad de desgasificación LC

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Introducción:
1. Este documento describe los requisitos funcionales respecto a:
1.1. Cámara de desgasificación de bandeja LC
1.2. La cámara de desgasificación de bandeja LC es una (cámara de vacío controlada) en la que
Una bandeja de aluminio que contiene líquido LC se desgasifica al vacío
ambiente durante un período de tiempo (es decir, se evacúa el aire atrapado)
Perfil de vacío;
1.1. Puntos de ajuste de presión ajustables entre 1,103 y 1,10-3 mBar
1.1.1. Rango de medición: 1.103 – 5.10-4
1.2. Puntos de ajuste de tiempo ajustables entre 1 y 600 min por paso
1.2.1. La etapa de desgasificación (D) puede durar minutos o días.
1.3. Las tasas de evacuación y ventilación deben ser controlables
1.4. El ciclo de evacuación (A – D) se realiza automáticamente
1.4.1. El paso de ventilación (E) debe activarse manualmente (operador)
1.5. Perfil típico de desgasificación
Gujdpfx Agjwam Sas Reh
2. Interior;
2.1.Cámara de proceso pulida de acero inoxidable (aluminio) (interior)
2.1.1. Se discutirá la tasa de fugas
2.2. Cajón (adaptación) de la bandeja LC para (des)cargar fácilmente la bandeja LC (sin sacudidas ni sacudidas)
movimiento permitido), consulte la Sección 2 Dimensiones de la bandeja LC y el apéndice 1
2.3. La bandeja de LC debe estar nivelada (waterpaste) en todo momento para evitar derrames de LC.
2.4.La cámara debe ser de fácil/rápido acceso para limpieza y/o bandeja LC
(descarga
2.5.El interior de la cámara debe estar pulido para facilitar la limpieza y evitar
contaminación y/o acumulación de humedad
2.6.Posibilidad de monitorización (ventana) del ciclo de desgasificación, es decir, monitorización de LC
Comportamiento de la superficie del líquido en la bandeja LC
2.7. No hay contaminación del proceso causada por el material de la cámara (-fabricación)

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