Fuente de rayo láser

Lambdaphysik (jetzt Coherent) LPF 202 Excimer Laser, F2 Version

Lambdaphysik
Tipo: Láser Excimer LPF 202, versión F2, 400 V
Fuente de haz láser de Lambdaphysik (ahora Coherent)
Los láseres LPF 202 F2 son láseres VUV pulsados con una longitud de onda de 157 nm y una duración de pulso de aproximadamente 20 ns.
Los láseres LPF F2 son fuentes de luz altamente eficientes, de diseño compacto. Se trata de los láseres con la longitud de onda más corta disponible comercialmente. Ofrecen resultados únicos en aplicaciones exigentes, como el mecanizado de materiales de alta precisión, la fotolitografía y la investigación de materiales (PLD), incluso para materiales que no absorben otras longitudes de onda. No obstante, el trayecto óptico para estos láseres debe purgarse o evacuarse con nitrógeno.

Aplicaciones
• Micro y nanostructuración de polímeros
• Litografía láser
• Deposición Pulsada por Láser (PLD)
Energía máxima por pulso: 50 mJ
Longitud de onda: 157 nm
Frecuencia máxima de repetición: 20 Hz

Eléctrico:
380 - 400 V AC, 12 A, 50 Hz, trifásico
Dimensiones (cabezal láser) L x A x H: 1966 x 475 x 800 mm³
Peso (con fuente de alimentación y bomba): 550 kg

Estado: usado
Año de puesta en marcha: 2001
Operatividad: control y bomba funcionales, última operación láser en 2011
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Gas de llenado: gas inerte
Manual de usuario: disponible
Alcance de suministro: (ver imagen)
Oferta de muestra: (véase anexo)
(Sujeto a posibles cambios y errores en los datos técnicos y especificaciones)
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